随着半导体工艺的不断发展,对半导体表面平整度和光泽度的要求越来越高,传统的机械抛光技术已经不能满足需求。
等离子纳米抛光是一种全新的金属表面处理工艺——仅在工件表面的分子层与等离子反应,分子中原子一般间距为0.1-0.3纳米,处理---为0.3-1.5纳米。抛光物的表面粗糙度在1mm范围内,因此等离子纳米抛光处理可以化学活化工件表面,去除表面分子污染层,交叉链接表面在化学物质。等离子也称为物质的第四态,是一种电磁气态放电现象,使气态粒子部分电离,这种被电离的气体包括原子、分子、原子团、离子和电子。等离子就是在高温高压下,抛光剂水溶,但是在高温高压下,电子会脱离原子核而跑出来,原子核就形成了一个带正点的离子,当这些离子达到一定数量的时候可以成为等离子态,等离子态能量很大,当这些等离子和要抛光的物体摩擦时,顷刻间会使物体达到表面光亮的效果。
等离子抛光设备的技术水平目前国外有着较长的研发历史和经验,其产品在国际市场上有着较高的竞争力和---度,在等离子抛光技术方面起步较晚,虽然近年来有所发展,但仍存在一定的技术差距,尤其是在等离子体生成、控制和稳定方面。市场占有率方面。国外在等离子抛光设备市场上占据着较大的份额,其产品广泛应用于手机电子、数码配件、集成电路制造、运动器材、眼镜制造、不锈钢洁具、餐具、器械、手表饰品、汽车配件等领域。在等离子抛光设备市场上还有很大的发展空间。
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